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產(chǎn)品簡介
日本供應EBARA荏原干式真空泵 EMT397M兼容高溫控制抽速大大流量排氣采用耐腐蝕材料標準耐腐蝕性增強選項能夠在重負荷下進行處理在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
產(chǎn)品分類
日本供應EBARA荏原干式真空泵 EMT397M
日本供應EBARA荏原干式真空泵 EMT397M
磁気浮上仕様
340~4，200L/sまでの幅広い製品ラインナップ
控制器一體型
可選擇空冷型和水冷型(控制器分離型)
受苗拉
可選擇高溫規(guī)格、耐腐蝕規(guī)格(可選)
各種特殊規(guī)格的陣容(反應生成物對應、極低振動型)
●取付姿勢自由
支持網(wǎng)絡連接
CE標記，適合SEMIS2.NRTL
EBT型(玉軸承型)
潤滑脂潤滑玉軸承類型
70~2，400L/sまでの幅広い製品ラインナップ小型·輕量·低成本
也可選擇控制器一體型(僅支持EBT70型、EBT240型)高耐沖擊性
可選擇空冷型和水冷型(EBT70F型、EBT240F型僅空冷)取付姿勢自由支持網(wǎng)絡連接CE標記，適合SEMIS2.NRTL
| 型 | 單位 | EV-S20 系列 | EV-S20P/N 系列 | EV-S30 系列 | EV-S30P 系列 | EV-S50 系列 | EV-S50P/N 系列 | EV-S100 系列 | EV-S100P/N | EV-S200 系列 | EV-S200P/N 系列 | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | 西北 80 | 西北 100 | 西北 100 | |
| 排氣口 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | - | 17~20 （2.4） | - | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | |||
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | - | - | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
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